ゲート(ワード線)を完全に埋め込んだトランジスタ構造。RCATの改良版である。「埋め込みチャンネル(Buried Channel)」と呼ぶ。SamsungがIEDM 2018のショートコースで講演したスライドから

ゲート(ワード線)を完全に埋め込んだトランジスタ構造。RCATの改良版である。「埋め込みチャンネル(Buried Channel)」と呼ぶ。SamsungがIEDM 2018のショートコースで講演したスライドから