配線抵抗(R)と配線容量(C)の変化。縦軸は配線容量、横軸は配線抵抗の逆数(右方向が抵抗が小さい)。RC積で換算すると、ナノ秒パルスレーザーアニールによって15%の速度向上が見込める。GLOBALFOUNDRIESがVLSIシンポジウムで発表した論文から引用した
