銅配線の微細化に伴う最大の課題を解決する、ナノ秒パルスのレーザーアニール技術(4/6)

銅配線の作成工程とナノ秒パルスレーザーによるアニールの工程。GLOBALFOUNDRIESがVLSIシンポジウムで発表した論文から引用した