MEMSセンサーアレイ(GRSA:Ground Reaction Sensor Array)の構成(左)と動作原理(中央)、等価回路モデル(右)。ISSCC 2018の講演スライドから

MEMSセンサーアレイ(GRSA:Ground Reaction Sensor Array)の構成(左)と動作原理(中央)、等価回路モデル(右)。ISSCC 2018の講演スライドから