奥の基板の上にある装置は、手前の装置と自動的に入れ替えて異なる基板にも対応できるように進化。段取り替えの時間を大幅に短縮した

奥の基板の上にある装置は、手前の装置と自動的に入れ替えて異なる基板にも対応できるように進化。段取り替えの時間を大幅に短縮した