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中央がNanowire。Nanowireは細いワイヤ状のゲートオールアラウンド構造で、5nmでは4ワイヤ程度をスタックする必要があると見られているPDF版はこちら
連載後藤弘茂のWeekly海外ニュース
ムーアの法則を維持するIntelの10nmと7nmプロセスの戦略
2016年10月21日
Samsung、EUVリソグラフィ採用の7nm FinFET技術を公表
2017年6月8日
Intel、米アリゾナ州に7nmプロセス量産を目指す半導体工場を70億ドルで建設
2017年2月9日
連載福田昭のセミコン業界最前線
次世代モバイルを実現する7nmのSRAM技術をTSMCとSamsungが公表
2017年2月16日
Samsung、FinFETからGAA FETへの移行を3nm世代へ後ろ倒し
2018年5月24日
TSMC、EUVを用いた5nmプロセスの設計基盤を提供開始
2019年4月8日
福田昭のセミコン業界最前線
2018年も半導体はおもしろい(後編)
2018年2月13日
IBM、世界初となる2nmプロセス。爪サイズに500億トランジスタ、バッテリ寿命4倍
2021年5月7日