試作したCMOSロジック互換STT-MRAMシリコンダイとシリコン断面の顕微鏡観察像。左上(a)は記憶素子である磁気トンネル接合(MTJ)のアレイを形成したところ。中央(b)は磁気トンネル接合の断面。右上(c)は40Mbit MRAMのシリコンダイ写真。下はMTJアレイの断面観察像。VLSI技術シンポジウムの論文集から
