ArF液浸露光とEUV露光の解像度の比較。ArF液浸露光のプロセス係数k1は0.26、EUV露光のプロセス係数k1は0.34と仮定した

ArF液浸露光とEUV露光の解像度の比較。ArF液浸露光のプロセス係数k1は0.26、EUV露光のプロセス係数k1は0.34と仮定した