金属配線(銅配線)層の断面を、透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した画像。なお講演では、ビアの埋め込み金属に従来は一般的だったタングステン(W)ではなく、コバルト(Co)を採用したと述べていた。IEDMの実行委員会が報道機関向けに配布した資料から
