銅配線の線抵抗値の比較(相対値)。左上の赤い四角が比較用の銅配線。中央の黒い四角と右の青い四角がナノ秒パルスレーザーによるアニール後の銅配線。グラフ中にあるTpeakはアニールのピーク温度、Tchuckは基板を扱う治具(チャック)の温度。GLOBALFOUNDRIESがVLSIシンポジウムで発表した論文から引用した
