結晶方位と位相、透過電子顕微鏡の観察像。左が比較用の銅配線。右がナノ秒レーザーアニールによる銅配線。レーザーアニールによって結晶粒が大きくなっていることが一見してわかる。GLOBALFOUNDRIESがVLSIシンポジウムで発表した論文から引用した
