保護層(キャップ層)の有無による高抵抗状態(HRS)でのばらつきの違い。韓国Samsung Electronicsの論文から(講演番号3-1)

保護層(キャップ層)の有無による高抵抗状態(HRS)でのばらつきの違い。韓国Samsung Electronicsの論文から(講演番号3-1)