試作したDRAMモジュール。TSVを組み込んだ薄いDRAMシリコンダイ(ボトムチップ)とTSVを組み込まない厚いDRAMシリコンダイ(トップチップ)を積層した

試作したDRAMモジュール。TSVを組み込んだ薄いDRAMシリコンダイ(ボトムチップ)とTSVを組み込まない厚いDRAMシリコンダイ(トップチップ)を積層した