SRAMの微細化に伴うソフトエラー発生確率の変化(シミュレーション結果)。22nm技術によるSRAMチップのソフトエラー発生確率(SER)は、130nm技術の7倍に増える。ソフトエラーに占める、複数個のメモリセルがエラー(MCU)となる確率は微細化とともに増大し、22nm技術では50%に達する
