【IRPS 2009レポート】ファウンドリ編(8/11)

半導体製造技術の世代による欠陥密度の低減曲線。図中に説明が省かれているが、緑色の曲線は150nm世代、桃色の曲線は130nm世代(200mmウェハ)、青色の曲線は130nm世代(300mmウェハ)