BBCube 3Dプロセスの過程。ワッフルウェハにチップを載せてモールディングした後、逆さまにして露光とエッチングで孔を成形。キャッシュも同様のプロセスで孔を成形して導通させた後、DRAMを同様の手法で繰り返して積層していく