東大、次世代パワーエレクトロニクス用材料「AlGaN」の安価/高品質な製造手法を開発
(6/11)
前の画像
(6/11)
次の画像
記事へ
スパッタリング法で低温・低コストで素子を作成できた
前の画像
(6/11)
次の画像
記事へ
