試作したLiDAR用スキャナの構造(下左)とダイ写真(右上)。光分波器や位相シフタなどによる光の減衰を補うため、2段の光増幅器(SOA)を光回路中に搭載する。IEDM 2020の発表論文(講演番号7.2)から
