作製したガラス微小ドーム構造。(a)薄板ガラスに加工した微細空洞。(b)形成された微小ドーム構造。ドーム構造の中央部のガラスは、周囲に比べて薄くなっている。(c)直径をさまざまに変えたドーム構造。(d)充填液導入用に流路を形成したドーム構造

作製したガラス微小ドーム構造。(a)薄板ガラスに加工した微細空洞。(b)形成された微小ドーム構造。ドーム構造の中央部のガラスは、周囲に比べて薄くなっている。(c)直径をさまざまに変えたドーム構造。(d)充填液導入用に流路を形成したドーム構造