ガラス膨張法によるガラス微小ドーム構造の形成工程と機能。(a)フッ化水素酸によるエッチングで板ガラスに浅い微細空洞を形成。(b)微細空洞をカバーガラスで閉じて仮接合。(c)真空引きしながら加熱し熱膨張。(d)予測した形状に到達したタイミングで加熱をやめ、真空引きしながら徐冷。(e)できあがったレンズと、充填液の有無による光学特性およびレンズ原理

ガラス膨張法によるガラス微小ドーム構造の形成工程と機能。(a)フッ化水素酸によるエッチングで板ガラスに浅い微細空洞を形成。(b)微細空洞をカバーガラスで閉じて仮接合。(c)真空引きしながら加熱し熱膨張。(d)予測した形状に到達したタイミングで加熱をやめ、真空引きしながら徐冷。(e)できあがったレンズと、充填液の有無による光学特性およびレンズ原理