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IBMとAMD、65nmプロセスでの成果を披露12月6日(現地時間)発表 米IBMと米AMDは6日(現地時間)、米国ワシントンD.C.で開催されているInternational Electron Devices Meetingにおいて、65nmプロセスにおける取り組みの成果について公表した。 両社が共同開発した65nmプロセス技術は、SOI(Silicon-On-Insulator)ウェハ上で、Dual Stress LinerおよびStress Memorization技術と呼ばれる歪み技術を用い、シリコン素材にembeddedシリコンゲルマニウム(e-SiGe)を使用。 これにより、歪み技術を用いないチップに対して、消費電力と発熱を抑えつつ、40%のトランジスタ性能向上を実現した。また、このプロセス技術では、lower-kと呼ばれる低誘電層間絶縁膜も採用されている。 両社は、先だって共同開発提携の延長および、より微細なプロセス技術開発への取り組みを発表しており、今回公開された技術は、将来のプロセス技術へも応用していくとしている。 □AMDのホームページ(英文) (2005年12月7日) [Reported by wakasugi@impress.co.jp]
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