FinFETのフィン部分の断面を電子顕微鏡で観察した写真。左がnチャンネルMOSFET、右がpチャンネルMOSFETである。フィンの厚みの違いがわかる(右のフィンが薄い)。なお、縮尺は表示していない。VLSI技術シンポジウムの論文集から
