金属配線不良の兆候を早期に検出する手法をimecなどが開発(7/8)

雑音の電力スペクトル密度(PSD)と周波数の関係。エレクトロマイグレーションが進むにしたがってPSDと、周波数に対する傾きが大きくなっていることが分かる ※IRPS2016の講演論文から引用した