金属配線不良の兆候を早期に検出する手法をimecなどが開発(4/8)

テスト用配線サンプルの例。バリヤメタルなしの銅配線、極薄のバリアメタルで被覆した銅配線、マンガン(Mn)をドープした銅配線などがある ※IRPS2016の講演論文から引用した