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ブラックの方程式。エレクトロマイグレーションで決まる配線の寿命(平均不良期間: MTTF)は、電流密度と絶対温度に依存する
連載福田昭のセミコン業界最前線
金属配線の寿命は、電流密度で決まるとは限らない
2016年4月25日