試作した「1T Bi-SRAM」セルの断面観察像。左は走査型電子顕微鏡(SEM)、右は走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)によるもの。Zeno Semiconductorほかの講演論文から

試作した「1T Bi-SRAM」セルの断面観察像。左は走査型電子顕微鏡(SEM)、右は走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)によるもの。Zeno Semiconductorほかの講演論文から