今回開発した超高精度平面基板(直径100mm)(左)とその平面形状測定結果(右)。赤色の部分(外周付近)と最も凹んだ青色の部分(中央付近)との凹凸の差が6nm以下となっている

今回開発した超高精度平面基板(直径100mm)(左)とその平面形状測定結果(右)。赤色の部分(外周付近)と最も凹んだ青色の部分(中央付近)との凹凸の差が6nm以下となっている