シリコン・ダイを回転させるセットアップ。回転角Θは水平方向の回転、回転角Ψは垂直方向の回転を示す(提供:Technical University of BraunshuweigのKai Grurmann氏)

シリコン・ダイを回転させるセットアップ。回転角Θは水平方向の回転、回転角Ψは垂直方向の回転を示す(提供:Technical University of BraunshuweigのKai Grurmann氏)