65nmの縮小版(XS版)チップの総合コストは50nmチップとほぼ同等。ArFドライ露光が使える65nmプロセスに対し、Ar液浸露光を必要とする50nmプロセスは製造設備の償却コスト(図中ではウェハコストの一部)が高くなる
