ナノギャップ構造の高集積化技術に関する解説。縦型ナノギャップ構造の集積を実現し、メモリデバイスなどへの応用が期待される

ナノギャップ構造の高集積化技術に関する解説。縦型ナノギャップ構造の集積を実現し、メモリデバイスなどへの応用が期待される