株式会社東芝は14日、三重県四日市市の「東芝四日市工場」に新しいNANDフラッシュメモリ製造棟の建設を開始したと発表した。名称は第5製造棟で、2011年春に竣工予定。これに伴い、米SanDiskと第5製造棟でも共同で製造合弁会社を設立することで合意した。

東芝四日市工場の全景。第5製造棟は右奥

　第5製造棟は東芝が単独で建設。2期に分けて建設し、市場動向を踏まえて段階的な投資判断をするという。第2期工事が完了すると、床面積は第4製造棟と同規模の約38,000平方mになる計画。製造設備の投資は、東芝とSanDiskで検討していく。

　NANDフラッシュメモリの製造は20nm台のプロセスルールで開始。順次、次世代のプロセスを導入する。

　地震による製造装置への影響を抑えるため免震構造を採用するほか、LED照明の全面展開、最新の省エネ設備、各種ポンプへのインバータ制御機能などを用いて、第4製造棟よりもCO2排出量を12%低減するという。

　今後も、市場動向に合わせた設備投資、微細化を進めるほか、ポストNANDの開発など、メモリ事業を強化するとしている。