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Intel、65nmプロセスの70Mbit SRAMの製造に成功
8月30日(現地時間)発表 米Intelは30日(現地時間)、65nmプロセスを採用した70MbitのSRAMの製造に成功したと発表した。 同社は2003年11月に65nmプロセス製造技術の開発を完了、4MbitのSRAMの製造に成功していた。今回製造した70MbitのSRAMは5億トランジスタを搭載しており、CPUに近いダイサイズとなる。 同社の65nmプロセス技術は、歪みシリコン技術や低誘電率(Low-k)材料を採用。微細化で問題になる漏れ電流を1/4に抑えたほか、「Sleep Transistor」と呼ばれる非動作時のSRAMブロックへの電流の漏れを抑止する技術を搭載した。 同社ではこれまで2年おきにプロセス技術を発展させており、65nmについても予定通り2005年に量産開始できる見込み。 □Intelのホームページ(英文) (2004年8月30日) [Reported by wakasugi@impress.co.jp]
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