【IRPS 2010レポート】 次世代不揮発性メモリの信頼性をチェック(5/6)

TDの影響。アモルファス相よりも結晶相の方がエネルギポテンシャルが低いので、暖められるとアモルファス相から結晶相への相変化が起こりかねない