Lam ResearchがFMSの講演で示したスライド。90層を超えるワード線を積層した多層膜にエッチングで垂直な孔を開けている

Lam ResearchがFMSの講演で示したスライド。90層を超えるワード線を積層した多層膜にエッチングで垂直な孔を開けている