投影光学系のNAによる寸法の違い。左がNA0.25、中央がNA0.33、右がNA0.5超の光学系の模式図。NAを上げるためには、反射鏡レンズの直径を大型化するとともに、光学系全体の寸法を太く、高くしなければならない。ASMLが2016年10月31日に開催したアナリスト向け説明会「Analyst Day」で示した講演スライドから
