多層膜の反射型マスクにおける入射角(横軸)と反射率(縦軸)の関係。NAが0.55の光学系でY方向の倍率を8倍に高めることにより、入射角を小さくする。国際学会「2016 EUVL Symposium」でASMLが発表したスライドから
