64層の3D NAND技術で512Gbitの大容量データをシングルダイに収容(4/6)

48層から64層への変化。ワード線(ゲート層)を薄くするとともに、ワード線の間隔を狭くした(ゲート層間の絶縁膜を薄くした)。ISSCC 2017の講演スライドから